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纳米压痕仪主要用于研究软质或硬质块体材料或薄膜材料的微观力学性能，例如：接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等。
划痕测试仪能够通过各种互补的方法检定膜 - 基体系统的性能，并量化摩擦力和附着强度等参数，已成为科学研发和质量控制方面不可或缺的工具。划痕测试仪技术可以在待测样品上用金刚石压头形成可控的划痕，能够测量粘合强度、摩擦力、涂层附着力、划痕和耐划伤性。
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